系统工程与电子技术

作者：李强, 刘思峰

单位：1. 南京航空航天大学经济管理学院, 江苏 南京 210016；2. 南京航空航天大学灰色系统研究所, 江苏 南京 210016

关键词：设备延寿,剩余寿命,灰色畸变预测,半导体靶材

基金：国家自然科学基金(72071111);国家自然科学基金(71671091)

针对设备部件延寿预测问题, 首先, 提出了上下限两种异常畸变指标, 并给出灰色多指标延寿畸变预测模型的架构图和延寿预测示意图。其次，运用灰色系统方法分别构建了两阶段灰色预测模型, 在第一阶段构建了灰色上下限畸变预测模型, 得到下一次发生畸变的日期; 在第二阶段构建了GM(1, 1)模型, 对设备部件延寿以及上下限指标的异常值进行预测。同时，对模型的预测精度进行检验和分析, 并根据模型的预测结果确定了设备部件延寿的时间。最后，以半导体制造业设备靶材延寿为实际应用案例，验证了该模型的有效性和可行性, 为合理制定部件的最优维护更换时间以及对降低企业运维成本具有重要指导意义。

来源：2023年第2期

《系统工程与电子技术》期刊编辑部

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