系统工程与电子技术

作者：刘佳, 苏珉, 徐群玉

单位：1. 北京航空航天大学前沿科学技术创新研究院, 北京 100191；2. 广西师范大学电子与信息工程学院, 广西 桂林 541004；3. 中国民航科学技术研究院民航法规与标准化研究所, 北京 100028

关键词：计算电磁学,模式匹配,计算光刻

基金：国家自然科学基金(62371018);北航卓越百人计划专项基金(KG21000501);广西自然科学基金(2020GXNSFBA297119);广西科技基地和人才专项(桂科AD20238025)

隐式模式匹配是分析波导结构电磁特性常用的数值方法。分析了现有隐式模式匹配方法在解决计算光刻问题上存在的局限性, 以该方法为基础, 提出了基于Krylov子空间理论的混合本征模重构以及显式模式匹配方法。修正了隐式模式匹配方法中采用的非严格迭代策略导致的本征模精度不足问题, 算法计算复杂度保持在O(N1.5)。采用典型波导及周期结构对所提算法的精度及效率进行了验证。通过对高复杂度光刻掩膜结构进行仿真, 将计算结果与高频结构仿真器软件以及严格耦合波分析(rigorous coupled wave analysis, RCWA)算法结果进行了对比, 验证了本文所提方法在分析高复杂度光刻问题中的应用价值和效率优势。

来源：2023年第11期

《系统工程与电子技术》期刊编辑部

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